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最も古い青写真(シアノタイプ)は、1842年に発明された。本格的に事務用として使われたジアゾ複写機は、1920年(大正9年)にドイツで開発されている。国内初のジアゾ機は、昭和26年に発売された湿式の「コピアM型」。本格的な普及は同33年から始まっている。その後、EF方式(静電式湿式)の複写機、リコーの「BS1」が昭和40年に登場して爆発的に普及。同40年代にはEFがジアゾを凌ぎ、完全にEFの時代となった。
PPC(普通紙複写機、静電間接式)は昭和30年に米ゼロックスが開発、国内では同37年に富士ゼロックスが販売を開始した。国産機は昭和45年に発表され、翌46年1月に小西六(現コニカ)、キヤノンが相次ぎ発売した。現在はこのPPCがほとんどを占め、後はA0判やA1判など大判複写機分野でジアゾ式がわずかに残っている。しかし、PPCの大判機も登場し、低価格化とともにジアゾ機も少なくなっている。
カラー複写機は、昭和48年に日立がEF方式で開発。リコー、キヤノンほかも発売した。そしてキヤノンが昭和63年にデジタル式を発売、カラーが本格化した。
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